四合院:芯生年代
第八十七章 八号实验室 (5 / 8)
赵烨前几天已经让人把透镜的资料送去了项目组,让他们组织工厂去加工。目前他的任务集中到了光源上。
现在的这个光刻机,增加了透镜组,那么再用以前的紫外线光灯已经不行了。原因很简单:
一是能量不足,经过透镜组的折射和吸收,到达硅晶片上的光线受损是很大的,这些光线已经不能满足和硅晶片上的硅刻胶产生充分反应。
二是光的衍射效应。因为要经过一系列的透镜,光线传播的距离被拉长了。光线通过模板上的细密线条和孔洞后,不可避免的就会发生衍射。
这就不能保证精度了。
这也是为什么,一开始的时候,很多光刻机都是采用的接触法。
那就是把印制好的模板,直接放到要光照的硅晶片上。这样一来,模板和硅晶片的距离为零,衍射就不存在了。
不过接触法毕竟不是王道,他的局限性非常大。不但会污染硅晶片上的光刻胶,造成良品率不高和操作困难。更主要的是不利于技术的进步和延伸。
到达了一定的精度后,在往下走就几乎不可能了。
赵烨是有系统加成的人,自然想从这一代开始,就摒弃接触法的。
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