四合院:芯生年代

第164章 浸入式光刻技术 (1 / 8)
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        兜兜转转一圈下来,赵烨发觉再搞出三微米技术之前,他必须还要脚踏实地的搞出一个中间阶段来。

        直接上三微米,目前面临的问题太多了。不是说硬上不行,而是就算做出来了,在应用上一系列的设备根本就支持不了。

        这就好比火车提速,不是说你的火车发动机功率足够就可以了,你要想跑得快,从车厢设计,转向架,车轮,钢轨,弯道,线路,等等等等,都要符合提速后的要求才行。这些东西不支持,你光有一个发动机是不够的。

        第二代光刻技术如今已经很成熟了。

        半自动化的操作,让成品率保持在了一个能够接受的范围内。如今赵烨看着实验室里的这台设备,想的是一个投机取巧的办法。说白了,就是把现在的干法蚀刻,变成湿法蚀刻。

        简单来讲,就是把要照射的硅晶片,浸到水里。

        水是种透明的液体,纯净的水,在一定温度下,它的折射率是固定的。那么把硅晶片放到水里,在紫外光照射到硅晶片之前,要先经过水的折射。

        只要控制好掩模和光照的方向,就能在现有的设备基础上,把制程工艺提高半步。

        这样一来,之前制程,就能进步到5微米上下了。

        有了这个工艺方法,赵烨就可以在以后的技术升级中,占有一定的优势。

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